セラミック カバーキャップ(専用ボルト用)(内ねじ付) SCAP-CE

■特長
・カバーキャップ SCAP とカバーキャップ用ボルト SNCPSを組み合わせて使用してください。
・真空チャンバー内の処理ガスやプラズマからボルト頭部の腐蝕を防止します。
・SCAP はアルミ合金製とセラミック製を標準化。
【SCAP-AL】 アルミ合金製
【SCAP-CE】 セラミック製
・ねじ締結部はステンレス製のため、アルミやセラミックのねじと比べて高い締めつけ力が得られます。

■用途
・成膜装置/エッチング装置/FPD製造装置/半導体製造装置