■特長 ・FPD製造装置・半導体製造装置など、真空装置・真空容器内のワークの固定に。 ・薄膜フッ素コーティングにより、クリーン洗浄後でもボールの潤滑性を高めています。 ・ガス抜き穴とガス抜き溝が、装置内に溜まったガスを排出しやすくします。 ・SCSS-VR は完全ボールによる点接触でワークを確実に固定。 ■用途 ワークの固定・位置決め/真空装置/FPD製造装置/半導体製造装置