■特長 ・高純度アルミナ99.5%のセラミック製。 ・1500℃での連続使用が可能です。 ・耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性にすぐれています。 ■用途 FPD製造装置/半導体製造装置/プリント基板エッチング装置/金属表面処理設備/化学プラント