■特長 ・耐蝕性、耐薬品性、耐摩耗性にすぐれています。 ・アウトガスが少なく真空環境下で使用できます。 ・すぐれた潤滑性です。 ・ねじのかじり、焼きつき防止に適しています。 ・分光反射率1.5%以下です。 ■用途 ・かじり・焼きつき防止 ・反射防止 ・光学機器 ・FPD製造装置 ・半導体製造装置など